请前往标签设置摘要
微细加工技术原理是一种利用物理、化学或机械方法,对材料表面进行微小尺度加工的技术。该技术涉及高精度、高灵敏度、高可靠性的加工过程,能够实现微小结构、微小器件和微小系统的制造。微细加工技术广泛应用于集成电路、光学器件、...