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摘要:干涉仪基于光学干涉原理,通过测量光束干涉产生的干涉条纹变化来测量光学元件的表面形状、折射率分布等参数。其在光学精密测量、光学加工、光学检测等领域有广泛应用,如测量透镜、棱镜、反射镜等光学元件的性能指标。干涉仪具...